TORR半導體氣體用調整器
TORR系列為廣受大多數用戶使用稱為”半導體氣體用調整器的代名詞”。日本NISSAN公司的特殊氣體技術與NISSAN TANAKA (日酸田中)的控制技術相互融合，隨著氣體種類的增加及業界進步多樣化的需求，備有種類齊全所需之產品。 製造上為滿足高次元潔淨度、高氣密性、高信賴度，全面實施可在【無塵室內組裝】、【高性能洗淨】、【全數氦氣洩漏測試】。
SUPER TORR高純度氣體調整器
適合於半導體、液晶顯示器、太陽能電池等不同的半導體材料的氣體壓力調整器。也廣泛應用於高純度或腐蝕性氣體與高壓氣體的氣體壓力調整器。
摘要
S-TORR高純度氣體調整器 高純度氣壓調整器可應用在作為高純度的氣體配管系統上或用在強烈的腐蝕性氣體的調整、負壓控制、潮汐隔膜，可使在實驗室或做研究上提供最大的安全性。 TORR TORR系列半導體用氣體調整器可依使用者需求，使用的氣體、入口端的壓力大小，流量大小，或特殊用途，如耐壓試驗、氣密試驗，或使用腐蝕性氣體等，選擇決定所使用TORR的型號規格。
使用規格
| BA |
TORR-30系列為標準流量型號 |
入口側最高使用圧力 | 5.0MPa | |||||||
| 出口側最高使用圧力 | -0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| -0.1～1.0MPa計付 0.7MPa | ||||||||||
| -0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 300～450L/min（nor） | ||||||||
|
TORR-50系列在流型號 |
入口側最高使用圧力 | 3.5MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | -0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| -0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| -0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 400～800L/min（nor） | ||||||||
| TORR-80系列在流型號 | 入口側最高使用圧力 | 2.0MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | -0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | |||||||||
| -0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 600～1200L/min（nor） | ||||||||
| TORR-150系列在流型號 | 入口側最高使用圧力 | 2.0MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | -0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | |||||||||
| -0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 1000～2400L/min（nor） | ||||||||
| TORR-350系列大流量型號 | 入口側最高使用圧力 | 1.5MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | -0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | |||||||||
| -0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 120～180m3/ｈ（nor） | ||||||||
|
TORR-800系列為大流量型號 |
入口側最高使用圧力 | 1.0MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | 0.6MPa | |||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 280～650m3/ｈ（nor） | ||||||||
| ＥＰ |
02系列為小流量調整器 S-TORRV（配合集成氣體系統） |
入口側最高使用圧力 | 1.0MPa | |||||||
| 出口側最高使用圧力 | 規格為0.7MPa | |||||||||
| 規格為0.4MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 40L/min（nor） | ||||||||
|
S-TORRV30系列為標準流速型號 |
入口側最高使用圧力 | 1.5MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | |||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 50～90L/min（nor） | ||||||||
|
S-TORRV 50系列為在流型號 |
入口側最高使用圧力 | 1.5MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | |||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 300～400L/min（nor） | ||||||||
|
S-TORRV 150系列為高流量型號 |
入口側最高使用圧力 | 2.0MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | |||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 600～1200L/min（nor） | ||||||||
一次高壓用
| BA |
TORR-1300系列高壓一級標準流量的型號 |
入口側最高使用圧力 | 15MPa | |||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | （窒素ガス換算における流量） | 80～250L/min（nor） | ||||||||
|
TORR-2300系列主要用在高壓的型號 |
入口側最高使用圧力 | 0～25MPa計付 15．0MPa | ||||||||
| 0～35MPa計付 20．0MPa | ||||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 350～1400L/min（nor） | ||||||||
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TORR-2500系列主要高壓大流量型號 |
入口側最高使用圧力 | 15MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 90m3/ｈ（nor） | ||||||||
| TORR-3300系列主要高壓大流量型 | 入口側最高使用圧力 | 20.0MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 120m3/ｈ（nor） | ||||||||
| EP | S-TORRV1300系列高壓一級標準流量的型號 | 入口側最高使用圧力 | 15.0MPa | |||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 40～80L/min（nor） | ||||||||
|
S-TORRV2300系列為初級高壓在流型號 |
入口側最高使用圧力 | 15MPa | ||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 100～400L/min（nor） | ||||||||
2次側高圧用
| BA |
TORR-H系列為二次側高壓型號 |
入口側最高使用圧力 | 0～25MPa計付 15.0MPa | |||||||
| 0～35MPa計付 20.0MPa | ||||||||||
| 出口側最高使用圧力 | 0～20MPa計付 12.0MPa | |||||||||
| 0～10MPa計付 6.0MPa | ||||||||||
| 0～5MPa計付 3.0MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 330～800L/min（nor） | ||||||||
| EP |
S-TORRV H50系列為二次側高壓型號 |
入口側最高使用圧力 | 15.0MPa | |||||||
| 出口側最高使用圧力 | 3.0MPa | |||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 20m3/ｈ（nor） | ||||||||
腐蝕性氣體
| BA | TORR-2800SH系列腐蝕性氣體大流量型號 | 入口側最高使用圧力 | 15.0MPa | |||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 220～1400L/min（nor） | ||||||||
| EP |
S-TORR V2300SH/AH系列為強腐蝕性氣體型號 |
入口側最高使用圧力 | 0～25MPa計付 15MPa | |||||||
| －0～10MPa計付 6MPa | ||||||||||
| －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | ||||||||||
| 出口側最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa計付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa計付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa計付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa計付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮氣相當於流速 | 50～120L/min（nor） ＊CL2は10L/min（nor）、HCLは50L/min（nor）迄。 | ||||||||