TORR半导体气体用调整器
TORR系列为广受大多数用户使用称为”半导体气体用调整器的代名词”。日本NISSAN公司的特殊气体技术与NISSAN TANAKA (日酸田中)的控制技术相互融合，随著气体种类的增加及业界进步多样化的需求，备有种类齐全所需之产品。 制造上为满足高次元洁净度、高气密性、高信赖度，全面实施可在【无尘室内组装】、【高性能洗净】、【全数氦气泄漏测试】。
SUPER TORR高纯度气体调整器
适合於半导体、液晶显示器、太阳能电池等不同的半导体材料的气体压力调整器。也广泛应用於高纯度或腐蚀性气体与高压气体的气体压力调整器。
摘要
S-TORR高纯度气体调整器 高纯度气压调整器可应用在作为高纯度的气体配管系统上或用在强烈的腐蚀性气体的调整、负压控制、潮汐隔膜，可使在实验室或做研究上提供最大的安全性。 TORR TORR系列半导体用气体调整器可依使用者需求，使用的气体、入口端的压力大小，流量大小，或特殊用途，如耐压试验、气密试验，或使用腐蚀性气体等，选择决定所使用TORR的型号规格。
使用规格
| BA |
TORR-30系列为标准流量型号 |
入口侧最高使用圧力 | 5.0MPa | |||||||
| 出口侧最高使用圧力 | -0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| -0.1～1.0MPa计付 0.7MPa | ||||||||||
| -0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 300～450L/min（nor） | ||||||||
|
TORR-50系列在流型号 |
入口侧最高使用圧力 | 3.5MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | -0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| -0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| -0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 400～800L/min（nor） | ||||||||
| TORR-80系列在流型号 | 入口侧最高使用圧力 | 2.0MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | -0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | |||||||||
| -0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 600～1200L/min（nor） | ||||||||
| TORR-150系列在流型号 | 入口侧最高使用圧力 | 2.0MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | -0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | |||||||||
| -0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 1000～2400L/min（nor） | ||||||||
| TORR-350系列大流量型号 | 入口侧最高使用圧力 | 1.5MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | -0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | |||||||||
| -0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| -0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 120～180m3/ｈ（nor） | ||||||||
|
TORR-800系列为大流量型号 |
入口侧最高使用圧力 | 1.0MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | 0.6MPa | |||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 280～650m3/ｈ（nor） | ||||||||
| ＥＰ |
02系列为小流量调整器 S-TORRV（配合集成气体系统） |
入口侧最高使用圧力 | 1.0MPa | |||||||
| 出口侧最高使用圧力 | 规格为0.7MPa | |||||||||
| 规格为0.4MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 40L/min（nor） | ||||||||
|
S-TORRV30系列为标准流速型号 |
入口侧最高使用圧力 | 1.5MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | |||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 50～90L/min（nor） | ||||||||
|
S-TORRV 50系列为在流型号 |
入口侧最高使用圧力 | 1.5MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | |||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 300～400L/min（nor） | ||||||||
|
S-TORRV 150系列为高流量型号 |
入口侧最高使用圧力 | 2.0MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | |||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 600～1200L/min（nor） | ||||||||
一次高压用
| BA |
TORR-1300系列高压一级标准流量的型号 |
入口侧最高使用圧力 | 15MPa | |||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | （窒素ガス换算における流量） | 80～250L/min（nor） | ||||||||
|
TORR-2300系列主要用在高压的型号 |
入口侧最高使用圧力 | 0～25MPa计付 15．0MPa | ||||||||
| 0～35MPa计付 20．0MPa | ||||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 350～1400L/min（nor） | ||||||||
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TORR-2500系列主要高压大流量型号 |
入口侧最高使用圧力 | 15MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 90m3/ｈ（nor） | ||||||||
| TORR-3300系列主要高压大流量型 | 入口侧最高使用圧力 | 20.0MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 120m3/ｈ（nor） | ||||||||
| EP | S-TORRV1300系列高压一级标准流量的型号 | 入口侧最高使用圧力 | 15.0MPa | |||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 40～80L/min（nor） | ||||||||
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S-TORRV2300系列为初级高压在流型号 |
入口侧最高使用圧力 | 15MPa | ||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 100～400L/min（nor） | ||||||||
2次侧高圧用
| BA |
TORR-H系列为二次侧高压型号 |
入口侧最高使用圧力 | 0～25MPa计付 15.0MPa | |||||||
| 0～35MPa计付 20.0MPa | ||||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | 0～20MPa计付 12.0MPa | |||||||||
| 0～10MPa计付 6.0MPa | ||||||||||
| 0～5MPa计付 3.0MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 330～800L/min（nor） | ||||||||
| EP |
S-TORRV H50系列为二次侧高压型号 |
入口侧最高使用圧力 | 15.0MPa | |||||||
| 出口侧最高使用圧力 | 3.0MPa | |||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 20m3/ｈ（nor） | ||||||||
腐蚀性气体
| BA | TORR-2800SH系列腐蚀性气体大流量型号 | 入口侧最高使用圧力 | 15.0MPa | |||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 220～1400L/min（nor） | ||||||||
| EP |
S-TORR V2300SH/AH系列为强腐蚀性气体型号 |
入口侧最高使用圧力 | 0～25MPa计付 15MPa | |||||||
| －0～10MPa计付 6MPa | ||||||||||
| －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | ||||||||||
| 出口侧最高使用圧力 | －0.1～1.5MPa计付 1.0MPa | |||||||||
| －0.1～1.0MPa计付 0.6MPa | ||||||||||
| －0.1～0.6MPa计付 0.4MPa | ||||||||||
| －0.1～0.3MPa计付 0.2MPa | ||||||||||
| 常用流量 | 在氮气相当於流速 | 50～120L/min（nor） ＊CL2は10L/min（nor）、HCLは50L/min（nor）迄。 | ||||||||